臭氧制造方法很多，其中有化學法、電解法、紫外線法、放射線照射法和無聲放電法等。
化學法生產(chǎn)的臭氧產(chǎn)量有限，不能為生產(chǎn)所利用，電解法有相當高的產(chǎn)率，并能獲得較高的臭氧濃度，目前已有商品在市場出現(xiàn)，但生產(chǎn)的O3往往與ClO2、 H2O2 , Cl2共存。紫外線法使用較早，但生成的臭氧量少，只適合使用消毒劑量少的地方。
無聲放電是一種可以獲得大量低濃度臭氧化氣體(臭氧重量占空氣重量的1%~2%)的技術(shù)，適合大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn)，是目前給水處理廠常用的工業(yè)生產(chǎn)臭氧的方法。若采用高頻、中頻、高電壓、純氧氣源無聲放電法可獲得較高的臭氧濃度(臭氧重量占總重量的4%-5%)。
無聲放電法發(fā)生臭氧的原理是在一對交流電極之間隔一介電體，當空氣或氧氣通過高壓電極時，在具有足夠動能的放電電子中，使氧分子電離，一部分氧分子就被聚合成臭氧，如圖示。 
圖中A和C都是電極，一般用金屬材料不銹鋼制成，B是介電體，它是一種絕緣物質(zhì)，一般用耐高壓玻璃作為介體。當交流高壓電作用時，在B和C的間隙中產(chǎn)生無聲放電現(xiàn)象，高壓電流從A透過B而傳到C，由于介電體B的阻擋，大電流不能通過，只能通過極小的電流，電壓極高，B和c的間距D很小，一般只有幾毫米，因而使間隙D中電壓強度很大，電子在高電場作用下速度很快，不斷襲擊通過放電間隙D的空氣或氧氣內(nèi)的氧分子。氧分子在高速電子襲擊下.有一部分就變成帶電的離子，帶電離子又不斷碰撞結(jié)合成分子，又不斷電離、碰撞，直至達到某種平衡狀態(tài)生成一定數(shù)量的臭氧，反應方程式如下: 
此種臭氧生成方式只能使通過放電區(qū)域的氣體中的一小部分變成臭氧，一般只占1%-2%重量，所含有的臭氧氣體通常稱臭氧化氣體，因此臭氧水處理實際土均指使用一定濃度臭氧化氣體進行處理，而不是使用純臭氧進行水處理
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