隔膜式計量泵利用特殊設計加工的柔性隔膜取代活塞，在驅動機構作用下實現(xiàn)往復運動，完成吸入-排出過程。由于隔膜的隔離作用，在結構上真正實現(xiàn)了被計量流體與驅動潤滑機構之間的隔離。高科技的結構設計和新型材料的選用已經(jīng)大大提高了隔膜的使用壽命，加上復合材料優(yōu)異的耐腐蝕特性，隔膜式計量泵目前已經(jīng)成為流體計量應用中的主力泵型。在隔膜式計量泵家族成員里，液力驅動式隔膜泵采用液壓油均勻驅動隔膜，克服了機械直接驅動方式下泵隔膜受力過分集中的缺點，提升了隔膜壽命和工作壓力上限。為了克服單隔膜式計量泵可能出現(xiàn)的因隔膜破損而造成的工作故障，有的計量泵配備了隔膜破損傳感器，實 現(xiàn)隔膜破裂時自動聯(lián)鎖保護，具有雙隔膜結構泵頭的計量泵進一步提高了其安全性。適合對安全保護特別敏感的應用場合。隔膜泵泵頭結構如圖3-55所示。
                       
        作為隔膜式計量泵的一種，電磁驅動式計量泵由脈沖發(fā)生電路產生頻率和脈寬可分別調節(jié)的脈沖波。經(jīng)功率放大后操作含有鐵芯的電磁線圈，鐵芯在脈沖電磁力的瞬間推動和復位彈簧力的綜合作用下帶動膜片往復運動，完成吸入、排出流體的任務。電磁驅動式計量泵的結構比較簡單，無需電機和變速機構，動作頻率易于控制，是小量程低壓計量泵的重要分支。
       目前，精密計量泵技術已經(jīng)非常成熟，其流體計量輸送能力最大可達0~100000L/h，工作壓力最高達4000bar，工作范圍覆蓋了工業(yè)生產所有領域的要求。